Ефекти електроміграції при епітаксіальному рості тонких плівок: моделювання методом фазового поля

• Datum: 2021
• 1. Verfasser: Dvornichenko, A.V.
• Format: Artikel
• Sprache: English; Ukrainian
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2021
• Schlagworte: метод фазового поля; епiтаксiальний рiст; поверхневi структури; електромiграцiя; числовi симуляцiї; статистичнi властивостi; Фізика поверхні
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2020088
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

У роботi проводиться теоретичне дослiдження процесу росту тонких плiвок при епiтаксiї з урахуванням анiзотропiї поверхневої дифузiї адсорбату, iндукованої ефектами електромiграцiї, в рамках теорiї фазового поля з використанням процедури числового моделювання. Встановлено вплив коефiцiєнта iндуковано...