Особливості впливу умов вирощування на структурні і оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O
Досліджено вплив потужності магнетрона і співвідношення тисків робочих газів Ar/O2 на мікроструктуру та оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O. Плівки осаджено методом магнетронного розпилювання на постійному струмі при температурі підкладки 250 ºC. Дослідження морфології поверхні, здійснені за допо...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian English |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021250 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| Резюме: | Досліджено вплив потужності магнетрона і співвідношення тисків робочих газів Ar/O2 на мікроструктуру та оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O. Плівки осаджено методом магнетронного розпилювання на постійному струмі при температурі підкладки 250 ºC. Дослідження морфології поверхні, здійснені за допомогою атомно-силової мікроскопії (АСМ), і рентгенофазовий аналіз (РФА) виявили сильний вплив технологічних параметрів осадження на мікроструктуру плівок. РФА аналіз показав, що всі вирощені плівки є полікристалічними і однофазними. Встановлено, що зростанняпарціального тиску аргону в газовій суміші Ar:O2 сприятливо впливає на кристалічну структуру твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O. Обговорено особливості контролю ширини забороненої зони та морфології поверхні твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O шляхом зміни параметрів вирощування. |
|---|