Особливості впливу умов вирощування на структурні і оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O
Досліджено вплив потужності магнетрона і співвідношення тисків робочих газів Ar/O2 на мікроструктуру та оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O. Плівки осаджено методом магнетронного розпилювання на постійному струмі при температурі підкладки 250 ºC. Дослідження морфології поверхні, здійснені за допо...
Saved in:
| Date: | 2012 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian English |
| Published: |
Publishing house "Academperiodika"
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021250 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Ukrainian Journal of Physics |
Institution
Ukrainian Journal of Physics| Summary: | Досліджено вплив потужності магнетрона і співвідношення тисків робочих газів Ar/O2 на мікроструктуру та оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O. Плівки осаджено методом магнетронного розпилювання на постійному струмі при температурі підкладки 250 ºC. Дослідження морфології поверхні, здійснені за допомогою атомно-силової мікроскопії (АСМ), і рентгенофазовий аналіз (РФА) виявили сильний вплив технологічних параметрів осадження на мікроструктуру плівок. РФА аналіз показав, що всі вирощені плівки є полікристалічними і однофазними. Встановлено, що зростанняпарціального тиску аргону в газовій суміші Ar:O2 сприятливо впливає на кристалічну структуру твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O. Обговорено особливості контролю ширини забороненої зони та морфології поверхні твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O шляхом зміни параметрів вирощування. |
|---|