2025-02-23T11:43:01-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22ujp2-article-2021367%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:43:01-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22ujp2-article-2021367%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:43:01-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T11:43:01-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Двоканальне гетерування рекомбінаційно-активної домішки в сонячному полікристалічному кремнії

У даній роботі розглянуто особливості гетерування рекомбінаційно-активних домішок у полікристалічному кремнії методом, що включає послідовне формування шару пористого кремнію товщиною 0,5–2 мкм на зворотному боці кремнієвої пластини, осадження шару алюмінію товщиною 0,5–1 мкм та термічний відпал при...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Litovchenko, V.G., Naseka, V.M., Evtukh, A.A.
Format: Article
Language:Ukrainian
English
Published: Publishing house "Academperiodika" 2012
Subjects:
-
Online Access:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021367
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:У даній роботі розглянуто особливості гетерування рекомбінаційно-активних домішок у полікристалічному кремнії методом, що включає послідовне формування шару пористого кремнію товщиною 0,5–2 мкм на зворотному боці кремнієвої пластини, осадження шару алюмінію товщиною 0,5–1 мкм та термічний відпал при 700–950 ºС протягом від 30 до 60 хв. Запропоновано модель гетерування даним методом, яка включає дифузію атомів заліза по двох найбільш ймовірних незалежних каналах – в об'ємі пластини та по границях зерен. Із зіставлення результатів моделі з експериментальними даними встановлено, що 30% атомів відгетерованої домішки дифундують прискорено по границях зерен, a 70% – в об'ємі зерен.