Двоканальне гетерування рекомбінаційно-активної домішки в сонячному полікристалічному кремнії

У даній роботі розглянуто особливості гетерування рекомбінаційно-активних домішок у полікристалічному кремнії методом, що включає послідовне формування шару пористого кремнію товщиною 0,5–2 мкм на зворотному боці кремнієвої пластини, осадження шару алюмінію товщиною 0,5–1 мкм та термічний відпал при...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2012
Hauptverfasser: Litovchenko, V.G., Naseka, V.M., Evtukh, A.A.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
English
Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2012
Schlagworte:
-
Online Zugang:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021367
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Ukrainian Journal of Physics

Institution

Ukrainian Journal of Physics
Beschreibung
Zusammenfassung:У даній роботі розглянуто особливості гетерування рекомбінаційно-активних домішок у полікристалічному кремнії методом, що включає послідовне формування шару пористого кремнію товщиною 0,5–2 мкм на зворотному боці кремнієвої пластини, осадження шару алюмінію товщиною 0,5–1 мкм та термічний відпал при 700–950 ºС протягом від 30 до 60 хв. Запропоновано модель гетерування даним методом, яка включає дифузію атомів заліза по двох найбільш ймовірних незалежних каналах – в об'ємі пластини та по границях зерен. Із зіставлення результатів моделі з експериментальними даними встановлено, що 30% атомів відгетерованої домішки дифундують прискорено по границях зерен, a 70% – в об'ємі зерен.