Двоканальне гетерування рекомбінаційно-активної домішки в сонячному полікристалічному кремнії

• Datum: 2012
• Hauptverfasser: Litovchenko, V.G., Naseka, V.M., Evtukh, A.A.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian; English
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2012
• Schlagworte: -
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021367
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

У даній роботі розглянуто особливості гетерування рекомбінаційно-активних домішок у полікристалічному кремнії методом, що включає послідовне формування шару пористого кремнію товщиною 0,5–2 мкм на зворотному боці кремнієвої пластини, осадження шару алюмінію товщиною 0,5–1 мкм та термічний відпал при...