Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням
The structural, electrophysical, and optical properties of thermochromic VO2 films prepared by magnetron sputtering are investigated. It is shown that the thermochromic properties of VO2 films can be improved in the case of their two-stage formation: sputtering at a substrate temperature of 200 ºC f...
Gespeichert in:
| Datum: | 2022 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian English |
| Veröffentlicht: |
Publishing house "Academperiodika"
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022073 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Institution
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2022073 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20220732022-02-10T18:14:22Z Thermochromic Properties of Vanadium Dioxide Films Obtained by Magnetron Sputtering Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням Melnik, V.P. Khatsevych, I.M. Goltvyanskyi, Yu.V. Nikirin, V.A. Romanyuk, B.M. Popov, V.G. Klad'ko, V.P. Kuchuk, A.V. - - The structural, electrophysical, and optical properties of thermochromic VO2 films prepared by magnetron sputtering are investigated. It is shown that the thermochromic properties of VO2 films can be improved in the case of their two-stage formation: sputtering at a substrate temperature of 200 ºC followed by thermal annealing. The data of experimental studies confirm the formation of VO2 crystallites with a mean size of 26 nm and a monoclinic crystal lattice in the investigated films. At the phase transition, the change of the film conductivity reaches 3 orders of magnitude, while the optical transmission (at the probing light wavelength λ = 2 μm) changes by a factor of 16. It is shown that the variation of annealing parameters of the synthesized films allows one to change their thermochromic properties. The obtained results are explained in the framework of the model of formation of VO2 nanoinclusions. Досліджено структурні, електрофізичні та оптичні властивості термохромних плівок VO2, отриманих магнетронним напиленням. Продемонстровано можливість поліпшення термохромних властивостей плівок VO2 при їх двостадійному формуванні: напиленні при температурі підкладки 200 ºС і подальшим термічними відпалом. Дані експериментальних досліджень підтверджують формування в досліджуваних плівках кристалітів діоксиду ванадію з середнім розміром 26 нм та моноклінною кристалічною ґраткою. При фазовому переході зміна провідності плівок досягає трьох порядків, а оптичнепропускання змінюється (при довжині хвилі зондуючого світла λ = 2 мкм) у 16 разів. Показано, що зміна параметрів відпалусинтезованих плівок дозволяє варіювати термохромні властивості плівок. Отримані результати пояснюються в межах моделі формування нановключень кристалічної фази VO2. Publishing house "Academperiodika" 2022-02-10 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022073 10.15407/ujpe56.6.534 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 56 No. 6 (2011); 534 Український фізичний журнал; Том 56 № 6 (2011); 534 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe56.6 uk en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022073/2295 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022073/2296 |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian English |
| topic |
- - |
| spellingShingle |
- - Melnik, V.P. Khatsevych, I.M. Goltvyanskyi, Yu.V. Nikirin, V.A. Romanyuk, B.M. Popov, V.G. Klad'ko, V.P. Kuchuk, A.V. Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| topic_facet |
- - |
| format |
Article |
| author |
Melnik, V.P. Khatsevych, I.M. Goltvyanskyi, Yu.V. Nikirin, V.A. Romanyuk, B.M. Popov, V.G. Klad'ko, V.P. Kuchuk, A.V. |
| author_facet |
Melnik, V.P. Khatsevych, I.M. Goltvyanskyi, Yu.V. Nikirin, V.A. Romanyuk, B.M. Popov, V.G. Klad'ko, V.P. Kuchuk, A.V. |
| author_sort |
Melnik, V.P. |
| title |
Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| title_short |
Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| title_full |
Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| title_fullStr |
Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| title_full_unstemmed |
Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| title_sort |
термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням |
| title_alt |
Thermochromic Properties of Vanadium Dioxide Films Obtained by Magnetron Sputtering |
| description |
The structural, electrophysical, and optical properties of thermochromic VO2 films prepared by magnetron sputtering are investigated. It is shown that the thermochromic properties of VO2 films can be improved in the case of their two-stage formation: sputtering at a substrate temperature of 200 ºC followed by thermal annealing. The data of experimental studies confirm the formation of VO2 crystallites with a mean size of 26 nm and a monoclinic crystal lattice in the investigated films. At the phase transition, the change of the film conductivity reaches 3 orders of magnitude, while the optical transmission (at the probing light wavelength λ = 2 μm) changes by a factor of 16. It is shown that the variation of annealing parameters of the synthesized films allows one to change their thermochromic properties. The obtained results are explained in the framework of the model of formation of VO2 nanoinclusions. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2022 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022073 |
| work_keys_str_mv |
AT melnikvp thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT khatsevychim thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT goltvyanskyiyuv thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT nikirinva thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT romanyukbm thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT popovvg thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT kladkovp thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT kuchukav thermochromicpropertiesofvanadiumdioxidefilmsobtainedbymagnetronsputtering AT melnikvp termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT khatsevychim termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT goltvyanskyiyuv termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT nikirinva termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT romanyukbm termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT popovvg termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT kladkovp termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm AT kuchukav termohromnívlastivostíplívokoksiduvanadíûotrimanihmagnetronnimnapilennâm |
| first_indexed |
2023-03-24T09:00:27Z |
| last_indexed |
2023-03-24T09:00:27Z |
| _version_ |
1795757752628281344 |