Термохромні властивості плівок оксиду ванадію, отриманих магнетронним напиленням

• Datum: 2022
• Hauptverfasser: Melnik, V.P., Khatsevych, I.M., Goltvyanskyi, Yu.V., Nikirin, V.A., Romanyuk, B.M., Popov, V.G., Klad'ko, V.P., Kuchuk, A.V.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian; English
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2022
• Schlagworte: -
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022073
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

The structural, electrophysical, and optical properties of thermochromic VO2 films prepared by magnetron sputtering are investigated. It is shown that the thermochromic properties of VO2 films can be improved in the case of their two-stage formation: sputtering at a substrate temperature of 200 ºC f...