Моделювання процесу росту оксиду на поверхні при дифузії в тонких плівках в умовах дії “кисневого насоса”

• Date: 2025
• Main Authors: Oleshkevych, A.I., Gusak, A.M., Sidorenko, S.I., Voloshko, S.M.
• Format: Article
• Language: Ukrainian; English
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2025
• Subjects: -
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022240
• Journal Title: Ukrainian Journal of Physics

Запропоновано моделі, які дозволяють прогнозувати кінетику росту оксиду на поверхні тонких плівок. Вважають, що у двошаровій системі матеріал "нижнього" шару дифундує по границях зерен матеріалу "верхнього" шару і реакція його окислення на зовнішній поверхні створює додаткову руш...