Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску

• Дата: 2022
• Автор: Bouchikhi, A.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2022
• Теми: capacitively coupled; RF glow discharge; Gauss law; dielectric barrier discharges; ємнiсно залежний; радiочастотний жеврiючий розряд; закон Гауса; розряди крiзь дiелектричний бар’єр
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

We study the neon dielectric barrier discharge with metastable atom density on a capacitively coupled radio frequency at a pressure of about 4–12 Torr. The transport parameters of neon are dependent on the electron energy, and their range is about 0.04–50 eV. A one-dimensional fluid model and the drift-diffusion theory are used to describe the neon dielectric barrier discharge. The effect of the gas pressure on the properties of neon dielectric barrier discharge is presented for the cycle-averaged regime. It is shown that the particle densities, electric potential, and metastable atom density increase with the pressure. In addition, the surface charge concentration and the gap voltage increase as well.