Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску

We study the neon dielectric barrier discharge with metastable atom density on a capacitively coupled radio frequency at a pressure of about 4–12 Torr. The transport parameters of neon are dependent on the electron energy, and their range is about 0.04–50 eV. A one-dimensional fluid model and the dr...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2022
Автор:	Bouchikhi, A.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Publishing house "Academperiodika" 2022
Теми:	capacitively coupled RF glow discharge Gauss law dielectric barrier discharges ємнiсно залежний радiочастотний жеврiючий розряд закон Гауса розряди крiзь дiелектричний бар’єр
Онлайн доступ:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics

id	ujp2-article-2022498
record_format	ojs
spelling	ujp2-article-20224982022-11-26T13:33:58Z Study of the Neon Dielectric Barrier Discharge on a Capacitively Coupled Radio Frequency at a Low Pressure with Metastable Atom Density: Effect of the Pressure Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску Bouchikhi, A. capacitively coupled RF glow discharge Gauss law dielectric barrier discharges ємнiсно залежний радiочастотний жеврiючий розряд закон Гауса розряди крiзь дiелектричний бар’єр We study the neon dielectric barrier discharge with metastable atom density on a capacitively coupled radio frequency at a pressure of about 4–12 Torr. The transport parameters of neon are dependent on the electron energy, and their range is about 0.04–50 eV. A one-dimensional fluid model and the drift-diffusion theory are used to describe the neon dielectric barrier discharge. The effect of the gas pressure on the properties of neon dielectric barrier discharge is presented for the cycle-averaged regime. It is shown that the particle densities, electric potential, and metastable atom density increase with the pressure. In addition, the surface charge concentration and the gap voltage increase as well. Дослiджено розряд крiзь дiелектричний неоновий бар’єр з певною густиною метастабiльних атомiв на ємнiсно залежнiй радiочастотi при тиску бiля 4–12 Торр. Параметри транспорту у неонi залежать вiд енергiї електронiв в iнтервалi 0,04–50 еВ. Використано одновимiрну модель рiдини I теорiю дрейфу-дифузiї для опису таких розрядiв. В режимi усереднення по циклу розглянуто вплив тиску на властивостi розрядiв. Показано, що густини частинок, електричний потенцiал та густина метастабiльних атомiв збiльшуються з тиском. Також зростають концентрацiя поверхневого заряду i напруга на бар’єрному промiжку. Publishing house "Academperiodika" 2022-11-26 Article Article Original Research Article (peer-reviewed) Оригінальна дослідницька стаття (з незалежним рецензуванням) application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498 10.15407/ujpe67.7.504 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 67 No. 7 (2022); 504 Український фізичний журнал; Том 67 № 7 (2022); 504 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe67.7 en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498/2873 Copyright (c) 2022 Bogolyubov Institute for Theoretical Physics, National Academy of Sciences of Ukraine
institution	Ukrainian Journal of Physics
collection	OJS
language	English
topic	capacitively coupled RF glow discharge Gauss law dielectric barrier discharges ємнiсно залежний радiочастотний жеврiючий розряд закон Гауса розряди крiзь дiелектричний бар’єр
spellingShingle	capacitively coupled RF glow discharge Gauss law dielectric barrier discharges ємнiсно залежний радiочастотний жеврiючий розряд закон Гауса розряди крiзь дiелектричний бар’єр Bouchikhi, A. Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
topic_facet	capacitively coupled RF glow discharge Gauss law dielectric barrier discharges ємнiсно залежний радiочастотний жеврiючий розряд закон Гауса розряди крiзь дiелектричний бар’єр
format	Article
author	Bouchikhi, A.
author_facet	Bouchikhi, A.
author_sort	Bouchikhi, A.
title	Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
title_short	Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
title_full	Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
title_fullStr	Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
title_full_unstemmed	Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
title_sort	дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
title_alt	Study of the Neon Dielectric Barrier Discharge on a Capacitively Coupled Radio Frequency at a Low Pressure with Metastable Atom Density: Effect of the Pressure
description	We study the neon dielectric barrier discharge with metastable atom density on a capacitively coupled radio frequency at a pressure of about 4–12 Torr. The transport parameters of neon are dependent on the electron energy, and their range is about 0.04–50 eV. A one-dimensional fluid model and the drift-diffusion theory are used to describe the neon dielectric barrier discharge. The effect of the gas pressure on the properties of neon dielectric barrier discharge is presented for the cycle-averaged regime. It is shown that the particle densities, electric potential, and metastable atom density increase with the pressure. In addition, the surface charge concentration and the gap voltage increase as well.
publisher	Publishing house "Academperiodika"
publishDate	2022
url	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498
work_keys_str_mv	AT bouchikhia studyoftheneondielectricbarrierdischargeonacapacitivelycoupledradiofrequencyatalowpressurewithmetastableatomdensityeffectofthepressure AT bouchikhia doslídžennârozrâdukrízʹdíelektričnijneonovijbarêrzdeâkoûgustinoûmetastabílʹnihatomívprinizʹkomutiskunaêmnísnozaležníjradíočastotívplivtisku
first_indexed	2023-03-24T09:00:52Z
last_indexed	2023-03-24T09:00:52Z
_version_	1795757764194074624

Репозитарії

Схожі ресурси