Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску
We study the neon dielectric barrier discharge with metastable atom density on a capacitively coupled radio frequency at a pressure of about 4–12 Torr. The transport parameters of neon are dependent on the electron energy, and their range is about 0.04–50 eV. A one-dimensional fluid model and the dr...
Saved in:
| Date: | 2022 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Publishing house "Academperiodika"
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Ukrainian Journal of Physics |