Дослідження розряду крізь діелектричний неоновий бар’єр з деякою густиною метастабільних атомів при низькому тиску на ємнісно залежній радіочастоті: вплив тиску

• Дата: 2022
• Автор: Bouchikhi, A.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2022
• Теми: capacitively coupled; RF glow discharge; Gauss law; dielectric barrier discharges; ємнiсно залежний; радiочастотний жеврiючий розряд; закон Гауса; розряди крiзь дiелектричний бар’єр
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022498
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

We study the neon dielectric barrier discharge with metastable atom density on a capacitively coupled radio frequency at a pressure of about 4–12 Torr. The transport parameters of neon are dependent on the electron energy, and their range is about 0.04–50 eV. A one-dimensional fluid model and the dr...