Зменшення рекомбінаційних втрат у дифузійних приповерхневих емітерних шарах фоточутливих кремнієвих структур n+-p-p+

• Date: 2023
• Main Authors: Kostylyov, V.P., Sachenko, A.V., Slusar, T.V., Chernenko, V.V.
• Format: Article
• Language: English; Ukrainian
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2023
• Subjects: фоточутлива кремнiєва структура; приповерхневий шар; емiтер; рекомбiнацiйнi втрати; термообробки; шар двоокису кремнiю
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023178
• Journal Title: Ukrainian Journal of Physics

When creating an n+-emitter in photosensitive structures of the n+-p-p+ type, the structure of its near-surface layer after the diffusion operation is found to be substantially damaged with increased recombination losses. The influence of additional growing-etching cycles of the silicon dioxide laye...