Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем

• Date: 2023
• Main Authors: Yukhymchuk, V.O., Dzhagan, V.M., Isaieva, O.F., Lytvyn, P.M., Korchovyi, A.A., Sabov, T.M., Lozinskii, V.B., Yefanov, V.S., Osokin, V.O., Kurapov, Yu.A.
• Format: Article
• Language: Ukrainian; English
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2023
• Subjects: вуглецевi аморфнi плiвки; графiтоподiбнi плiвки; раманiвська спектроскопiя; електронне розпилення; XPS; АСМ
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023217
• Journal Title: Ukrainian Journal of Physics

Nanometer-thick carbon films on metal (copper, steel) and silicon substrates are obtained by the electron sputtering of graphite. The substrate temperature was varied from 350 to 600 оС with an increment of 50 оС, and the sputtering time from 1 to 10 s. The produced carbon films are studied using Ra...