Buchumschlag

Виготовлення та морфологія мідних наноплівок з використанням приладів на постійному струмі та радіочастотах для магнетронного розпилення

In this paper, we provide detailed information on the mechanism of formation of thin copper films in different modes of magnetron sputtering on the surface of single-crystal silicon by the solid-phase ion-plasma method. The dependence of the sputtering rate of Cu/Si films obtained by the direct curr...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2026
Hauptverfasser:	Dovranov, K.T., Abrayeva, S.T., Yorqulov, R.M., Mustafoeva, N.M., Buzrukov, T.O., Jurayeva, Sh.A., Aminov, A.A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Publishing house "Academperiodika" 2026
Schlagworte:	магнетронне напилення постiйний струм радiочастота мiднi наноплiвки
Online Zugang:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023585
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Institution

Ukrainian Journal of Physics

Ähnliche Einträge

Виготовлення тонких плівок з Mn4Si7/Si(111), CrSi2/Si(111) та CoSi2/Si(111) і оцінка їхніх оптично прямих та непрямих заборонених зон
von: Dovranov, K.T., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування
von: Normuradov, M.T., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U
von: Shulyma, S.I., et al.
Veröffentlicht: (2025)

Поверхневе розсiювання носiїв струму i поверхневi електроннi стани
von: Sologub, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Дослідження властивостей важкого кварконію методом Нікіфорова–Уварова для сильновзаємодіючої кварк-глюонної плазми при скінченній температурі
von: Rethika, K.T.
Veröffentlicht: (2025)

Розрахунок енергій Хартрі–Фока оболонок p-типу деяких негативних іонів
von: AL-Sharaa, M.J., et al.
Veröffentlicht: (2026)

Абсолютнi перерiзи s- i d-iонiзацiї iона in+ при зiткненнях з повiльними електронами
von: Gomonai, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Інфляційний магнітогенез з гелікальним зв’язком
von: Shtanov, Yu. V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Теоретичне дослідження механічних та термофізичних властивостей механолюмінесцентного матеріалу з частковою заміною Li в LixZn1–xO:Nd3+ (0 ≤ x ≤ 0,44)
von: Srivastav, P., et al.
Veröffentlicht: (2025)

Нелінійні ефекти у фізиці та демографії
von: Weiland, J., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Measures and Dynamics on Pascal–Bratteli Diagrams
von: Bezuglyi, Sergey, et al.
Veröffentlicht: (2026)

Хвильовий рух поверхнi нев’язкої рiдини пiд дiєю сили тяжiння
von: Gandzha, I. S.
Veröffentlicht: (2019)

Автоiонiзацiйнi резонанси в спектрi трифотонної iонiзацiї атома iтербiю
von: Gomonai, A. I.
Veröffentlicht: (2019)

Вибiр хвильової функцiї основного стану Hе для прецизiйних обчислень параметрiв квазiстацiонарних станiв
von: Simulik, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Нелiнiйне рiвняння Шредiнґера вищого порядку для обвiдної повiльно модульованих гравiтацiйних хвиль на поверхнi рiдини скiнченної глибини та його квазiсолiтоннi розв’язки
von: Gandzha, I. S., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Порівняльний аналіз профілей подвійних шарів між двотемпературною неізотермічною та ізотермічною електронною плазмою
von: Chattopadhyay, S.
Veröffentlicht: (2025)

Імплантація іонів дейтерію та гелію у композиційну структуру з вольфрамовим покриттям
von: Bobkov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Роздiлення iзотопiв у системi iз зустрiчними магнiтними полями у вiдбитому потоцi
von: Belikov, A. G., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Застосування методу взаємодiючих конфiгурацiй у зображеннi комплексних чисел до розрахункiв спектроскопiчних характеристик автоiонiзацiйних станiв атомiв Bе, Mg, Ca
von: Simulik, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Вивчення впливу вуглецевих нанотрубок на електричну провідність тернарного нанокомпозита ПВДФ/ПАНІ/ МСВНТ при низьких температурах
von: Rudenko, R.M., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Іонізація молекул амінокислот тирозину та треоніну електронним ударом
von: Vukstich, V.S., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Система виробництва спірально намотаних надпровідних кабелів
von: Tokçalar, S., et al.
Veröffentlicht: (2026)

Властивості гіперядра 4ΛH у трикластерних мікроскопічних моделях
von: Nesterov, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Ізомернi вiдношення та середнi кутовi моменти первинних фрагментiв 97Nb при фотоподiлi 235U та 238U
von: Zheltonozhskyi, V. O., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Формування стiйких поверхневих структур при iонному розпорошеннi в рамках анiзотропної моделi Курамото–Сiвашинського
von: Lysenko, I. O.
Veröffentlicht: (2019)

Конденсацiя ґраткового газу та її зв’язок з розбiжнiстю вiрiальних розкладiв за степенями активностi
von: Ushcats, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

За межами загальної теорії відносності Ейнштейна: гібридна ґравітація із метрикою Палатіні
von: Lobo, F.S.N.
Veröffentlicht: (2024)

Майбутнє експериментального вимірювання розсіювання світла світлом
von: Jucha, P., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Наноструктурована плівка йодиду міді в багатофункціональному гнучкому пристрої для ультрафіолетового фотодетектування та моніторингу аміаку
von: Fedonenko, D., et al.
Veröffentlicht: (2025)

Надзвичайні властивості спиртів метанолового ряду
von: Gotsulskyi, V. Ya., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Композицiйнi сцинтилятори та особливостi їх радiацiйної стiйкостi
von: Krech, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Впакування та стисливість бікомпонентних мікромеханічних (гранульованих) систем
von: Gerasymov, O.I., et al.
Veröffentlicht: (2025)

Моделирование полей скорости и давления в зоне прямоугольной каверны, расположенной на стенке плоского канала. Часть
von: Бруяцкий, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Кинематические характеристики потока при обтекании полусферических углублений
von: Бабенко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Расчет пространственного движения суперкавитирующих аппаратов
von: Семененко, В.Н.
Veröffentlicht: (2012)

Ювелiрнi виробничi осередки Київського дитинця
von: Крижановський, В.О.
Veröffentlicht: (2020)

Взаимодействие внутренних уединенных волн при фронтальном столкновении
von: Терлецкая, Е.В.
Veröffentlicht: (2014)

Людвиг Прандтль в гидромеханике прошлого и будущего
von: Гаев, Е.А.
Veröffentlicht: (2014)

Численное моделирование развития вихрей Тейлора-Гертлера в нестационарном течении Куэтта. 2. Различные параметры ввода возмущений
von: Городецкая, Н.С., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Численный и аналитический анализ кавитационных течений
von: Гузевский, Л.Г.
Veröffentlicht: (2013)