Зображення обкладинки

Виготовлення та морфологія мідних наноплівок з використанням приладів на постійному струмі та радіочастотах для магнетронного розпилення

In this paper, we provide detailed information on the mechanism of formation of thin copper films in different modes of magnetron sputtering on the surface of single-crystal silicon by the solid-phase ion-plasma method. The dependence of the sputtering rate of Cu/Si films obtained by the direct curr...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2026
Автори:	Dovranov, K.T., Abrayeva, S.T., Yorqulov, R.M., Mustafoeva, N.M., Buzrukov, T.O., Jurayeva, Sh.A., Aminov, A.A.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Publishing house "Academperiodika" 2026
Теми:	магнетронне напилення постiйний струм радiочастота мiднi наноплiвки
Онлайн доступ:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023585
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics

Схожі ресурси

Виготовлення тонких плівок з Mn4Si7/Si(111), CrSi2/Si(111) та CoSi2/Si(111) і оцінка їхніх оптично прямих та непрямих заборонених зон
за авторством: Dovranov, K.T., та інші
Опубліковано: (2024)

Розробка технології виготовлення нанорозмірних плівок з неоднорідною структурою методом іонно-плазмового осаджування
за авторством: Normuradov, M.T., та інші
Опубліковано: (2023)

Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U
за авторством: Shulyma, S.I., та інші
Опубліковано: (2025)

Поверхневе розсiювання носiїв струму i поверхневi електроннi стани
за авторством: Sologub, S. V., та інші
Опубліковано: (2019)

Дослідження властивостей важкого кварконію методом Нікіфорова–Уварова для сильновзаємодіючої кварк-глюонної плазми при скінченній температурі
за авторством: Rethika, K.T.
Опубліковано: (2025)

Розрахунок енергій Хартрі–Фока оболонок p-типу деяких негативних іонів
за авторством: AL-Sharaa, M.J., та інші
Опубліковано: (2026)

Абсолютнi перерiзи s- i d-iонiзацiї iона in+ при зiткненнях з повiльними електронами
за авторством: Gomonai, A. N., та інші
Опубліковано: (2018)

Інфляційний магнітогенез з гелікальним зв’язком
за авторством: Shtanov, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2019)

Теоретичне дослідження механічних та термофізичних властивостей механолюмінесцентного матеріалу з частковою заміною Li в LixZn1–xO:Nd3+ (0 ≤ x ≤ 0,44)
за авторством: Srivastav, P., та інші
Опубліковано: (2025)

Нелінійні ефекти у фізиці та демографії
за авторством: Weiland, J., та інші
Опубліковано: (2022)

Measures and Dynamics on Pascal–Bratteli Diagrams
за авторством: Bezuglyi, Sergey, та інші
Опубліковано: (2026)

Хвильовий рух поверхнi нев’язкої рiдини пiд дiєю сили тяжiння
за авторством: Gandzha, I. S.
Опубліковано: (2019)

Автоiонiзацiйнi резонанси в спектрi трифотонної iонiзацiї атома iтербiю
за авторством: Gomonai, A. I.
Опубліковано: (2019)

Вибiр хвильової функцiї основного стану Hе для прецизiйних обчислень параметрiв квазiстацiонарних станiв
за авторством: Simulik, V. M., та інші
Опубліковано: (2019)

Нелiнiйне рiвняння Шредiнґера вищого порядку для обвiдної повiльно модульованих гравiтацiйних хвиль на поверхнi рiдини скiнченної глибини та його квазiсолiтоннi розв’язки
за авторством: Gandzha, I. S., та інші
Опубліковано: (2014)

Порівняльний аналіз профілей подвійних шарів між двотемпературною неізотермічною та ізотермічною електронною плазмою
за авторством: Chattopadhyay, S.
Опубліковано: (2025)

Імплантація іонів дейтерію та гелію у композиційну структуру з вольфрамовим покриттям
за авторством: Bobkov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Роздiлення iзотопiв у системi iз зустрiчними магнiтними полями у вiдбитому потоцi
за авторством: Belikov, A. G., та інші
Опубліковано: (2019)

Застосування методу взаємодiючих конфiгурацiй у зображеннi комплексних чисел до розрахункiв спектроскопiчних характеристик автоiонiзацiйних станiв атомiв Bе, Mg, Ca
за авторством: Simulik, V. M., та інші
Опубліковано: (2019)

Вивчення впливу вуглецевих нанотрубок на електричну провідність тернарного нанокомпозита ПВДФ/ПАНІ/ МСВНТ при низьких температурах
за авторством: Rudenko, R.M., та інші
Опубліковано: (2022)

Іонізація молекул амінокислот тирозину та треоніну електронним ударом
за авторством: Vukstich, V.S., та інші
Опубліковано: (2022)

Система виробництва спірально намотаних надпровідних кабелів
за авторством: Tokçalar, S., та інші
Опубліковано: (2026)

Властивості гіперядра 4ΛH у трикластерних мікроскопічних моделях
за авторством: Nesterov, A.V., та інші
Опубліковано: (2021)

Ізомернi вiдношення та середнi кутовi моменти первинних фрагментiв 97Nb при фотоподiлi 235U та 238U
за авторством: Zheltonozhskyi, V. O., та інші
Опубліковано: (2018)

Формування стiйких поверхневих структур при iонному розпорошеннi в рамках анiзотропної моделi Курамото–Сiвашинського
за авторством: Lysenko, I. O.
Опубліковано: (2019)

Конденсацiя ґраткового газу та її зв’язок з розбiжнiстю вiрiальних розкладiв за степенями активностi
за авторством: Ushcats, M. V., та інші
Опубліковано: (2018)

За межами загальної теорії відносності Ейнштейна: гібридна ґравітація із метрикою Палатіні
за авторством: Lobo, F.S.N.
Опубліковано: (2024)

Майбутнє експериментального вимірювання розсіювання світла світлом
за авторством: Jucha, P., та інші
Опубліковано: (2024)

Наноструктурована плівка йодиду міді в багатофункціональному гнучкому пристрої для ультрафіолетового фотодетектування та моніторингу аміаку
за авторством: Fedonenko, D., та інші
Опубліковано: (2025)

Надзвичайні властивості спиртів метанолового ряду
за авторством: Gotsulskyi, V. Ya., та інші
Опубліковано: (2020)

Композицiйнi сцинтилятори та особливостi їх радiацiйної стiйкостi
за авторством: Krech, A. V., та інші
Опубліковано: (2018)

Впакування та стисливість бікомпонентних мікромеханічних (гранульованих) систем
за авторством: Gerasymov, O.I., та інші
Опубліковано: (2025)

Моделирование полей скорости и давления в зоне прямоугольной каверны, расположенной на стенке плоского канала. Часть
за авторством: Бруяцкий, Е.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Кинематические характеристики потока при обтекании полусферических углублений
за авторством: Бабенко, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Расчет пространственного движения суперкавитирующих аппаратов
за авторством: Семененко, В.Н.
Опубліковано: (2012)

Ювелiрнi виробничi осередки Київського дитинця
за авторством: Крижановський, В.О.
Опубліковано: (2020)

Взаимодействие внутренних уединенных волн при фронтальном столкновении
за авторством: Терлецкая, Е.В.
Опубліковано: (2014)

Людвиг Прандтль в гидромеханике прошлого и будущего
за авторством: Гаев, Е.А.
Опубліковано: (2014)

Численное моделирование развития вихрей Тейлора-Гертлера в нестационарном течении Куэтта. 2. Различные параметры ввода возмущений
за авторством: Городецкая, Н.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Численный и аналитический анализ кавитационных течений
за авторством: Гузевский, Л.Г.
Опубліковано: (2013)