Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U

• Дата: 2025
• Автори: Shulyma, S.I., Sukhenko, I.V., Kasyanenko, V.Kh., Karbivskyy, V.L., Kurgan, N.A., Shvachko, N.K., Zaika, V.V., Moskaliuk, V.O., Puzko, O.A.
• Формат: Стаття
• Мова: English; Ukrainian
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2025
• Теми: ZnO; радiочастотне магнетронне напилення; DFT; морфологiя; прозорiсть; тонкi плiвки
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023674
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

Дослiджено вплив потужностi радiочастотного магнетронного напилення на морфологiю та оптичнi властивостi допованих галiєм тонких плiвок ZnO (GZO). Показано, що зi збiльшенням потужностi напилення зменшуються розмiри кластерiв на поверхнi плiвки та товщина стовпчастої структури кристалiтiв. Встановле...