Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U

• Datum: 2025
• Hauptverfasser: Shulyma, S.I., Sukhenko, I.V., Kasyanenko, V.Kh., Karbivskyy, V.L., Kurgan, N.A., Shvachko, N.K., Zaika, V.V., Moskaliuk, V.O., Puzko, O.A.
• Format: Artikel
• Sprache: English; Ukrainian
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2025
• Schlagworte: ZnO; радiочастотне магнетронне напилення; DFT; морфологiя; прозорiсть; тонкi плiвки
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023674
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

Дослiджено вплив потужностi радiочастотного магнетронного напилення на морфологiю та оптичнi властивостi допованих галiєм тонких плiвок ZnO (GZO). Показано, що зi збiльшенням потужностi напилення зменшуються розмiри кластерiв на поверхнi плiвки та товщина стовпчастої структури кристалiтiв. Встановле...