Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U

• Datum: 2025
• Hauptverfasser: Shulyma, S.I., Sukhenko, I.V., Kasyanenko, V.Kh., Karbivskyy, V.L., Kurgan, N.A., Shvachko, N.K., Zaika, V.V., Moskaliuk, V.O., Puzko, O.A.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch; Ukrainisch
• Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2025
• Schlagworte: ZnO; радiочастотне магнетронне напилення; DFT; морфологiя; прозорiсть; тонкi плiвки
• Online Zugang: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2023674
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

The effect of radiofrequency magnetron sputtering power on the morphology and optical properties gallium-doped ZnO (GZO) thin films has been investigated. It is found that the sputtering power increasing leads to a decreasing in the size of clusters on the film surface and the thickness of the cryst...