gas sensor 2 газовий сенсор - 1 adsorption sensitivity 1 electronic conductivity 1 gas sensitivity 1 hole conductivity 1 hydrogen sulfide 1 nanocrystalline SiC films 1 nanoparticles 1 nanostructured silicon 1 transition metals and their oxides 1 адсорбцiйна чутливiсть 1 діркова провідність 1 електронна провідність 1 нанокристалічні плівки SiC 1 наноструктурований кремнiй 1 наночастинки 1 перехiднi метали та їх окислiв 1 сiрководень 1 чутливість до газу 1