enterprise 1 information support 1 management 1 modeling 1 process approach 1 геофизические измерения геофізичні вимірювання 1 нановимірювання 1 наноизмерения 1 оптическая запись информации 1 оптичний запис інформації 1 управление наноперемещениями 1 управління нанопереміщеннями 1 цифровий інтерферометр 1 цифровой интерферометр 1