polishing 6 дисперсна система полірування 6 roughness 5 шорсткість 5 dispersed system 4 material removal rate 3 nanoparticles 3 дисперсная система 3 наночастинки 3 полирование 3 швидкість зняття матеріалу 3 disperse system 2 шероховатость 2 energy transfer 1 rheological properties 1 semiconductors 1 напівпровідники 1 перенесення енергії 1 перенос энергии 1 реологические свойства 1 реологічні властивості 1