glow discharge 2 жеврiючий розряд - 1 52.25.Dg 1 52.80.Hc 1 Boltzmann equation 1 PACS 51.50. v 1 anode processes 1 atomic nitrogen 1 current-voltage characteristics 1 diffusion processes 1 electric field 1 fluid model 1 plasma chemical reactions 1 probe diagnostics 1 short diode 1 spherical diode 1 атомарний азот 1 вольт-ампернi характеристики 1 гiдродинамiчна модель 1 дифузiйнi процеси 1 електричне поле 1 зондова дiагностика 1 короткий дiод 1 плазмохiмiчнi реакцiї 1 прианоднi процеси 1 рiвняння Больцмана 1 сферичний дiод 1