Stranski-Krastanow mechanism 1 crystal lattice 1 electrochemical etching 1 layer-plus-island growth 1 layer-plus-island модель росту 1 porous layers 1 silicon carbide 1 thermal annealing 1 електрохімічне травлення 1 карбід кремнію 1 кристалічна ґратка механізм Странського – Крастанова 1 поруваті шари 1 термічний відпал 1