массоперенос diffusion 1 epitaxy 1 layers 1 mass transfer 1 mode 1 solution-melt 1 substrate 1 temperature 1 диффузия 1 консолидация 1 математическое моделирование 1 нелинейные краевые задачи 1 подложка 1 пористые среды 1 приближенные решения 1 раствор-расплав 1 режим 1 слои 1 температура 1 эпитаксия 1