polishing 4 полирование полірування 4 дисперсна система 3 дисперсная система 3 disperse system 2 roughness 2 шероховатость 2 шорсткість 2 aluminum nitride 1 dispersed system 1 energy transfer 1 rheological properties 1 sludge particles 1 wear particles 1 нитрид алюминия 1 нітрид алюмінію 1 перенесення енергії 1 перенос энергии 1 реологические свойства 1 реологічні властивості 1 частинки зносу полірувального порошку 1 частинки шламу 1 частицы износа 1 частицы шлама 1