polishing 7 полірування дисперсна система 6 roughness 5 шорсткість 5 dispersed system 4 полирование 4 material removal rate 3 nanoparticles 3 дисперсная система 3 наночастинки 3 швидкість зняття матеріалу 3 disperse system 2 шероховатость 2 aluminum nitride 1 energy transfer 1 rheological properties 1 semiconductors 1 sludge particles 1 wear particles 1 напівпровідники 1 нитрид алюминия 1 нітрид алюмінію 1 перенесення енергії 1 перенос энергии 1 реологические свойства 1 реологічні властивості 1 частинки зносу полірувального порошку 1 частинки шламу 1 частицы износа 1