приповерхневий шар near-surface layer 2 - 1 emitter 1 gas-reactive effect 1 heat treatments 1 impedance 1 laser irradiation 1 n-GaAs(100) 1 photosensitive silicon structure 1 reactive properties of semiconductors 1 recombination losses 1 reflection spectra 1 refractive index 1 semiconductor gas sensors 1 silicon dioxide layer 1 surface layer 1 газореактивный эффект 1 газореактівний ефект 1 емiтер 1 лазерне опромiнення 1 напівпровідникові сенсори газу 1 повний опір 1 показник заломлення 1 полное сопротивление 1 полупроводниковые сенсоры газа 1 приповерхностный слой 1 реактивные свойства полупроводников 1 реактивні властивості напівпровідників 1 рекомбiнацiйнi втрати 1