фізико-хімічні властивості физико-химические свойства 8 synthesis 6 синтез 6 1 5 2 5 physicochemical properties 5 4-triazole 4 4-триазол 4 UDC 2 condensation and ion bombardment 2 ion implantation 2 nitride 2 physical and chemical properties 2 УДК 2 УДК 535.338.43.533.59 2 ионная имплантация 2 конденсация и ионная бомбардировка 2 конденсація і іонне бомбардування 2 нитрид 2 нітрид 2 іонна імплантація 2 1Н-tetrazole 1 1Н-тетразол 1 2-R-phenyliminothiazole derivatives 1 4-triazoles 1 4-триазоли 1 4-триазолы 1 547.789 1 547.792’796.1’212.21.024.03/.04.057 1