наноизмерения 2 цифровий інтерферометр 2 цифровой интерферометр a seismometer 1 delta-gravimeter 1 digital interferometer 1 enterprise 1 information support 1 management 1 modeling 1 nano-measurements 1 process approach 1 tilt-meter 1 vibration platform 1 виброплатформа 1 віброплатформа 1 геофизические измерения 1 геофізичні вимірювання 1 дельта-гравиметр 1 дельта-гравіметр 1 наклономер 1 нановиміри 1 нановимірювання 1 нахиломір 1 оптическая запись информации 1 оптичний запис інформації 1 сейсмометр 1 управление наноперемещениями 1 управління нанопереміщеннями 1