НАНОКАРБІДНІ ПРОЦЕСИ ПРИ МОС-ЕПІТАКСІЇ ІІІ-НІТРИДНИХ СТРУКТУР

by Осинський, В. І., Ляхова, Н. М., Масол, І. В., Грунянская, В. П., Деминский, П. В., Суховий, Н. О., Стоніс, В. В., Глотов, В. І.
Published 2021