Дослiдження розповсюдження температурних профiлiв в нестехiометричних плiвках SiOx при лазерному вiдпалi... by Gavrylyuk, O. O., Semchuk, O. Yu., Steblova, O. V., Evtukh, A. A., Fedorenko, L. L.

Get full text