Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей... by Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.

Get full text

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок... by Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.

Get full text

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок by Semyonova, S. E., Semyonov, E. I.

Get full text