Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей... von Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.

Volltext

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок... von Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.

Volltext

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок von Semyonova, S. E., Semyonov, E. I.

Volltext