crystallites 1 efficiency of solar cells 1 films of a hydrogenated amorphous silicon–carbon alloy 1 films of nanocrystalline silicon plasma-chemical technique 1 к.п.д. солнечного элемента 1 кристаллит 1 плазмохимический метод 1 пленки гидрогенизированного аморфного сплава кремния-углерода 1 пленки нанокристаллического кремния 1