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Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
von
Pilipenko, V. A.
,
Gorushko, V. A.
,
Petlitskiy, A. N.
,
Ponaryadov, V. V.
,
Turtsevich, A. S.
,
Shvedov, S. V.
Veröffentlicht 2013
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Institution
Technology and design in electronic equipment
1
Format
Artikel
1
Verfasser
Gorushko, V. A.
1
Petlitskiy, A. N.
1
Pilipenko, V. A.
1
Ponaryadov, V. V.
1
Shvedov, S. V.
1
Turtsevich, A. S.
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Sprache
English
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Ukrainian
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