internal mechanical stresses 81.40.Tv 1 Czochralski technique 1 PACS 78.30.Fs 1 degradation stability of crystals 1 dielectric film 1 microelectromechanical systems 1 silicon nitride 1 silicon oxide 1 внутрiшнi механiчнi напруження 1 внутренние механические напряжения 1 деградацiйна стiйкiсть кристалiв 1 диэлектрические пленки 1 метод Чохральського 1 микроэлектромеханические системы 1 нитрид кремния 1 оксид кремния 1