Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией von Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.

Volltext

Закономерности формирования пучка ионов низ­кой энер­гии при по­мо­щи од­но­се­точ­ной ион­но-оп­ти­чес­кой сис­те­мы... von Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V.

Volltext