Ge1-хSix 1 Si 1 laser treatment melting depth 1 reflection spectra 1 shock wave 1 temperature surface 1 transmission spectra 1 глибина плавлення 1 глубина плавления 1 лазерне опромінення 1 лазерное облучение 1 спектри відбиття 1 спектри пропускання 1 спектры отражения 1 спектры пропускания 1 температура поверхности 1 температура поверхні 1 ударна хвиля 1 ударная волна 1