Showing 1 - 1 results of 1 for search '' Skip to content
VuFind
  • Your Account
  • Log Out
  • Login
  • Language
    • English
    • Deutsch
    • Українська

Open Science Harvester of NAS of Ukraine

Advanced
Reset Filters
Suggested Topics: microelectromechanical systems
Reset Filters
Show filters (1)
Suggested Topics: microelectromechanical systems
  • Search Results
Suggested Topics within your search. Suggested Topics within your search.
dielectric film 1 internal mechanical stresses 1 microelectromechanical systems silicon nitride 1 silicon oxide 1 внутренние механические напряжения 1 диэлектрические пленки 1 микроэлектромеханические системы 1 нитрид кремния 1 оксид кремния 1
Showing 1 - 1 results of 1 for search '', query time: 0.01s Refine Results
  1. 1
    Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом пла­з­мо­хи­ми­чес­кого осаждения на кремниевую подложку
    Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом пла­з­мо­хи­ми­чес­кого осаждения на кремниевую подложку...
    by Rubtsevich, I. I., Solovyov, Ya. A., Vysotskiy, V. B., Dudkin, A. I., Kovalchuk, N. S.
    Published 2011
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
Search Tools: RSS Feed – Email Search – Save Search

Refine Results

Technology and design in electronic equipment 1
Article 1
Dudkin, A. I. 1 Kovalchuk, N. S. 1 Rubtsevich, I. I. 1 Solovyov, Ya. A. 1 Vysotskiy, V. B. 1
Ukrainian 1

Search Options

  • Search History
  • Advanced Search

Find More

  • Browse the Catalog
  • Browse Alphabetically
  • Explore Channels
  • New Items

Need Help?

  • Search Tips
  • Documentation

Statistics

Pdf Flag Counter