dislocations 1 energy 1 etching pits 1 fractal analysis 1 high-temperature deformation 1 impurities 1 magnetic field 1 microelectronics technology 1 microimages single-crystal silicon 1 surface texture for biochips 1 високотемпературна деформація 1 дислокації 1 домішки 1 енергетика 1 магнітне поле 1 монокристалічний кремній 1 мікрозображення 1 текстура поверхні для біочипів 1 технологія мікроелектроніки 1 фрактальний аналіз 1 ямки травлення 1