РОЗРОБКА ТЕХНОЛОГІЇ ЧИЩЕННЯ ВАКУУМНИХ ПОВЕРХОНЬ ПЛАЗМОЮ ВИСОКОЧАСТОТНОГО РОЗРЯДУ В КОМБІНАЦІЇ З РОЗРЯДОМ ПОСТІЙНОГО СТРУМУ... by Kovtun, Yurii, Glazunov, Gennadiy, Moiseenko, Vladimir, Maznichenko, Sergiy, Bondarenko, Mikhaylo, Konotops`kyy, Oleksiy, Siusko, Yevhen, Tarasov, Igor, Shapoval, Anatoliy, Lozin, Oleksiy, Korovin, Valeriy, Kramsky, Egor, Kozulia, Mykhailo, Baron, Demyan, Listopad, Viktor, Krasyuk, Alexander

Get full text

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов by Grigorjantz, V. V., Dolgov, A. P., Kochmarev, L. Yu., Shilov, I. P.

Get full text

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза by Belyanin, A. F., Pal', A. F., Samoylovich, M. I., Suetin, N. V., Dzbanovskiy, N. N., Mitin, V. S., Pashchenko, P. V., Timofeev, M. A.

Get full text