РОЗРОБКА ТЕХНОЛОГІЇ ЧИЩЕННЯ ВАКУУМНИХ ПОВЕРХОНЬ ПЛАЗМОЮ ВИСОКОЧАСТОТНОГО РОЗРЯДУ В КОМБІНАЦІЇ З РОЗРЯДОМ ПОСТІЙНОГО СТРУМУ... von Kovtun, Yurii, Glazunov, Gennadiy, Moiseenko, Vladimir, Maznichenko, Sergiy, Bondarenko, Mikhaylo, Konotops`kyy, Oleksiy, Siusko, Yevhen, Tarasov, Igor, Shapoval, Anatoliy, Lozin, Oleksiy, Korovin, Valeriy, Kramsky, Egor, Kozulia, Mykhailo, Baron, Demyan, Listopad, Viktor, Krasyuk, Alexander

Volltext

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов von Grigorjantz, V. V., Dolgov, A. P., Kochmarev, L. Yu., Shilov, I. P.

Volltext

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза von Belyanin, A. F., Pal', A. F., Samoylovich, M. I., Suetin, N. V., Dzbanovskiy, N. N., Mitin, V. S., Pashchenko, P. V., Timofeev, M. A.

Volltext