РОЗРОБКА ТЕХНОЛОГІЇ ЧИЩЕННЯ ВАКУУМНИХ ПОВЕРХОНЬ ПЛАЗМОЮ ВИСОКОЧАСТОТНОГО РОЗРЯДУ В КОМБІНАЦІЇ З РОЗРЯДОМ ПОСТІЙНОГО СТРУМУ... за авторством Kovtun, Yurii, Glazunov, Gennadiy, Moiseenko, Vladimir, Maznichenko, Sergiy, Bondarenko, Mikhaylo, Konotops`kyy, Oleksiy, Siusko, Yevhen, Tarasov, Igor, Shapoval, Anatoliy, Lozin, Oleksiy, Korovin, Valeriy, Kramsky, Egor, Kozulia, Mykhailo, Baron, Demyan, Listopad, Viktor, Krasyuk, Alexander

Отримати повний текст

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов за авторством Grigorjantz, V. V., Dolgov, A. P., Kochmarev, L. Yu., Shilov, I. P.

Отримати повний текст

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза за авторством Belyanin, A. F., Pal', A. F., Samoylovich, M. I., Suetin, N. V., Dzbanovskiy, N. N., Mitin, V. S., Pashchenko, P. V., Timofeev, M. A.

Отримати повний текст