oxygen adsorption - 1 cluster approach 1 corrosion 1 density functional theory method 1 infrared spectra 1 molybdenum oxide 1 silicon surface 1 temperature-programmed desorption 1 ТПД 1 адсорбцiя кисню 1 адсорбция кислорода 1 адсорбція кисню 1 инфракрасные спектры 1 кластерний підхід 1 кластерный подход 1 корозiя 1 метод теории функционала плотности 1 метод теорії функціонала густини 1 оксид молiбдену 1 поверхность кремния 1 поверхня кремнію 1 інфрачервоні спектри 1