physicochemical properties физико-химические свойства 5 фізико-хімічні властивості 5 1 3 2 3 synthesis 3 синтез 3 4-triazole 2 4-триазол 2 condensation and ion bombardment 2 ion implantation 2 nitride 2 УДК 535.338.43.533.59 2 ионная имплантация 2 конденсация и ионная бомбардировка 2 конденсація і іонне бомбардування 2 нитрид 2 нітрид 2 іонна імплантація 2 4-triazoles 1 4-триазоли 1 4-триазолы 1 547.792’821.057-047.37 1 UDC 1 UDC 547.792´581.2-38.056.01 1 UDC 547.792’586.2.057.03/.04 1 pyridine 1 УДК 1 УДК 547.792´581.2-38.056.01 1 УДК 547.792’586.2.057.03/.04 1