Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия за авторством Borisenko, A. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Boltovets, M. S., Ivanov, V. N., Sveschnikov, Yu. N.

Отримати повний текст

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением за авторством Ivanchikov, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B., Plebanovich, V. I., Ponomar, V. N., Shikulo, V. E.

Отримати повний текст

Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей... за авторством Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.

Отримати повний текст

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей... за авторством Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.

Отримати повний текст

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю... за авторством Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.

Отримати повний текст