Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия von Borisenko, A. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Boltovets, M. S., Ivanov, V. N., Sveschnikov, Yu. N.

Volltext

Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей... von Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.

Volltext

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей... von Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.

Volltext

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю... von Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.

Volltext