Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия by Borisenko, A. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Boltovets, M. S., Ivanov, V. N., Sveschnikov, Yu. N.

Get full text

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обе­с­пе­чи­ва­ю­щий минимальную интенсивность отказов... by Dudin, S. V., Lisovskiy, V. А., Dahov, A. N., Pletniov, V. M.

Get full text

Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей... by Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.

Get full text

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей... by Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Golotyuk, V. N., Marinenko, A. A., Lukomsky, D. V.

Get full text

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю... by Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.

Get full text