Показ
1 - 1
результатів із
1
Перейти до змісту
Логін
Мова
English
Deutsch
Українська
Харвестер відкритої науки НАН України
Всі поля
Назва
Назва журналу
Автор
Предмет
Опис
Тег
Full text
Знайти
Розширений
page_reload_on_deselect_hint
Видалити фільтри
applied_filters
Рекомендовані теми:
Remove filter
rapidly diffusing impurity
page_reload_on_deselect_hint
Видалити фільтри
Показати фільтри (1)
Рекомендовані теми:
Remove filter
rapidly diffusing impurity
Результати пошуку
Результати пошуку
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
dislocation
1
getter
1
gettering center
1
laser
1
rapidly diffusing impurity
silicon
1
stacking fault
1
быстродиффундирующая примесь
1
геттер
1
дефект упаковки
1
дислокация
1
кремний
1
лазер
1
центр геттерирования
1
Показ
1 - 1
результатів із
1
Уточнити результати
Сортувати
Релевантність
Дата у спадаючому порядку
Дата у зростаючому порядку
Шифр
Автор
Назва
Е-пошта
Експорт
Друк
bulk_save_button
select_all_on_page
Вибрати результат під номером 1
1
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством
Pilipenko, V. A.
,
Gorushko, V. A.
,
Petlitskiy, A. N.
,
Ponaryadov, V. V.
,
Turtsevich, A. S.
,
Shvedov, S. V.
Опубліковано 2013
Отримати повний текст
Стаття
standalone_record_link
Додати у Вибране
Збережено в:
Е-пошта
Експорт
Друк
bulk_save_button
select_all_on_page
Інструменти для пошуку:
Отримати RSS-стрічку
Відправити пошук е-поштою
Зберегти пошук
Назад
Уточнити результати
page_reload_on_select_hint
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment
1 результатів
1
Формат
Стаття
1 результатів
1
Автор
Gorushko, V. A.
1 результатів
1
Petlitskiy, A. N.
1 результатів
1
Pilipenko, V. A.
1 результатів
1
Ponaryadov, V. V.
1 результатів
1
Shvedov, S. V.
1 результатів
1
Turtsevich, A. S.
1 результатів
1
Мова
English
1 результатів
1
Ukrainian
1 результатів
1
Рік публікації
від:
до: