semiconductor structure WDM technology 1 WDM технології 1 constructive-technological solution 1 high frequency range 1 ion implantation 1 iонна iмплантацiя 1 light-emitting diode 1 nano-structurization 1 optical channel 1 optical communication 1 optocoupler 1 photodetector 1 physical topological model 1 ВЧ диапазон 1 конструктивно-технологічне рішення 1 наноструктуювання 1 напiвпровiдникова структура 1 напівпровідникова структура 1 оптичний зв`язок 1 оптичний канал 1 оптрон 1 світлодіод 1 фотоприймач 1 фізико-топологічна модель 1