Search Results
Suggested Topics within your search.
Suggested Topics within your search.
- silicon oxide
- оксид кремния 2
- dielectric film 1
- internal mechanical stresses 1
- laser annealing 1
- microelectromechanical systems 1
- nanocrystal 1
- silicon nitride 1
- thermoconductivity equation 1
- внутренние механические напряжения 1
- диэлектрические пленки 1
- лазерний відпал 1
- лазерный отжиг 1
- микроэлектромеханические системы 1
- нанокристали 1
- нанокристаллы 1
- нитрид кремния 1
- оксид кремнію 1
- рівняння теплопровідності 1
- уравнения теплопроводности 1
-
1
Теоретичне вивчення лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx
Published 2014Get full text
Article -
2