vibration platform виброплатформа 2 віброплатформа 2 сейсмометр 2 a seismometer 1 calibration 1 delta-gravimeter 1 digital interferometer 1 interference signal 1 interferometer 1 laser 1 nano-measurements 1 seismometer 1 testing 1 tilt-meter 1 дельта-гравиметр 1 дельта-гравіметр 1 интерференционный сигнал 1 интерферометр 1 калибровка 1 калібрування 1 лазер 1 наклономер 1 нановиміри 1 наноизмерения 1 нахиломір 1 тестирование 1 тестування 1 цифровий інтерферометр 1 цифровой интерферометр 1