condensation and ion bombardment 1 ion implantation 1 nitride 1 physicochemical properties 1 УДК 535.338.43.533.59 ионная имплантация 1 конденсация и ионная бомбардировка 1 конденсація і іонне бомбардування 1 нитрид 1 нітрид 1 физико-химические свойства 1 фізико-хімічні властивості 1 іонна імплантація 1